靶材等静压模具及半导体、新型特种材料等静压成型模具的特点及要求

靶材等静压模具在半导体、新型特种材料的等静压成型过程中起着至关重要的作用，具有以下特点及要求：

一、特点

• 高精度与密合性

• 为保证成型后的靶材具有高尺寸精度和良好的致密度，模具必须具备极高的精度，其内壁尺寸公差需控制在极小范围内，通常在微米级别。在压制过程中，模具与粉末材料之间应实现良好的密合，避免出现缝隙导致材料泄漏或成型缺陷。

• 均匀的压力分布特性

• 能够在各个方向上均匀地传递压力，使粉末材料受到一致的压力作用，从而确保成型后的靶材密度均匀，内部结构致密、无缺陷。这种均匀的压力分布对于制备高性能、高质量的靶材和新型特种材料至关重要。

• 耐腐蚀性与稳定性

• 在高温、高压的等静压成型环境中，模具要能抵抗各种可能的腐蚀作用。例如，在制备某些新型特种材料时，可能涉及到使用腐蚀性介质，模具材料需具备优异的耐腐蚀性，以保证其长期稳定的使用寿命。

二、要求

• 材料选择

• 模具材料需具备高强度、高硬度和良好的耐磨性，如一些硬质合金、特殊合金钢等。对于半导体、新型特种材料等领域的应用，还需考虑材料的化学稳定性和热稳定性。

• 设计考量

• 要根据靶材或新型特种材料的形状、尺寸以及成型工艺要求进行优化设计。例如，设计合理的排气通道，以排出压制过程中产生的气体，避免在制品中形成气孔等缺陷。

• 制造工艺

• 采用高精度的制造工艺，如数控加工、精密研磨等，以确保模具的尺寸精度和表面光洁度。同时，要注意控制制造过程中的热处理工艺，以消除模具内部的应力，提高模具的尺寸稳定性。

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